醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備溫度要怎么控制，我們?cè)趯?duì)醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備的溫度進(jìn)行控制的時(shí)候，我們要怎么進(jìn)行控制呢，下面就給大家講解一下醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備溫度要怎么控制。
層流手術(shù)室具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院�，�?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度

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