醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備溫度要怎么控制
更新時(shí)間::2017-08-05 15:34:34
醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備溫度要怎么控制,我們在對醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備的溫度進(jìn)行控制的時(shí)候,我們要怎么進(jìn)行控制呢,下面就給大家講解一下醫(yī)用手術(shù)室凈化設(shè)備溫度要怎么控制。
層流手術(shù)室具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度
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